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芯源微披露一季报，一季度实现营业收入2.88亿元，同比增长56.89%；净利润6597.74万元，同比增长103.55%；基本每股收益0.71元。报告期内，半导体设备行业景气度持续，公司收入规模持续增长；公司销售收入增加及嵌入式软件产品退税到账款增加。